YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

标准编号:YS/T 1124-2016
中文标准名称:磁性溅射靶材透磁率测试方法
标准状态:现行有效
语言:简体中文版、英文版
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
标准简介:本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
文件格式:纸质版或者PDF电子版(用Acrobat Reader打开)
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